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来源：ayx官网入口发布时间：2026-01-17 15:46:35

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在互动渠道答复投资者发问时表明，公司前道化学洗刷设备机台搭载独立开发的新一代高清洗功率低损害射流喷嘴，具有高工艺掩盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项中心优势；前道物理整理洗刷设备装备低损害雾化清洗喷嘴与低损害清洗毛刷，可广泛应用于国内前道晶圆制作范畴；后道单片湿法设备包含清洗机、去胶机、刻蚀机等湿法类设备，可广泛应用于来料清洗、TSV深孔清洗、Flux清洗等清洗、去胶及lift-off剥离工艺及多种介质层湿法刻蚀工艺。未来公司将继续进步整理洗刷设备产能，研讨开发化学清洗关键技术，进一步优化单元和整机规划。